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자주하는질문
 

등록인 : nightmarelgh 조회수: 930 2017-12-21 11:22:43
   제 목 : 측정시 image 이상점 문의드립니다.



1.0 Hz, noncontact AFM으로 측정시 image에 지속적으로 line이 생기는데 이것은 어떤 오류때문에 발생하는 것인지 문의 드립니다.

현재 회사에서 사용중이고 선임이 없어 장비 다루는법 결과 해석등을 다 독학으로 해결하고 있습니다.

이전에는 발생이 없었는데 line이 생기고 나서 image도 안좋아지고 노이즈가 발생하는 경우가 많습니다.

도움 부탁 드립니다.


rcs [2018-01-22 11:21:01]
안녕하세요, 파크시스템스 고객지원팀입니다.
노이즈 문제와 관련하여 몇 가지 확인 요청드립니다.

1. image 측정시 주변에 진동 및 소음을 유발하는 장치가 있는지 확인해주세요.
2. Topography signal의 Forward/Backward 이미지는 일치하신가요?
3. 문제가 있는 image의 raw data(Topography, NCM Phase의 Forward/Backward)를 cs@parkafm.com으로 전달해주시면 확인 후 연락드리겠습니다.

WRITE IP : 115.xxx.207.xxx
rcs [2018-02-23 16:15:10]
참고로, 첨부하신 이미지의 수직으로 발생된 라인에 대해 말씀드리겠습니다.
이미지 측정시, 아래와 같이 XY scanner는 아래와 같이 이동하며 scanning하게 됩니다.
(line scan : xy scanner 좌우이동(fast scan)->xy scanner 위로 이동(slow scan)->line scan: 좌우 이동(fast scan))
동작 방향이 급격히 변화되는 위치(slow scan direction)에서 첨부하신 이미지와 같이 수직으로 라인이 생성될 수 있습니다. 이와 같은 증상을 완화하기 위해서는 slow scan wave(smooth), sine scan 과 같은 옵션을 이용하거나, over scan 증가를 통해 제거가 가능합니다.
관련 기능은 XEP/SmartScan 참고 바랍니다. 감사합니다.

WRITE IP : 115.xxx.207.xxx