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자주하는질문
 

등록인 : paullee08 조회수: 745 2018-04-23 13:47:24
   제 목 : 단차 측정시 Z detector와 Topology의 값이 다른 이유는 무엇인지요?

안녕하세요.
제가 2차원 반도체 물질의 단차를 정확히 알고 싶은 목적으로 AFM 측정하는 작업을 하고 있습니다.
contact모드로 optimized가 되었을 때 이 물질이 topolgy를 보면 930 nm 으로 측정이 되고 Z detector로 보면  1213 nm 로 측정이 됩니다. (커뮤니티에 마이크로단위의 두꺼운샘플은 Z detector가 더 정확할수있다는 글을 보고 Z detector로 측정시도하였습니다.)

질문은 930 nm,  1213 nm  의 두께 차이가 왜 나는지, 어떤 것을 믿어야하는지 궁금합니다.


rcs [2018-05-02 11:53:16]
관련하여 해당일자 유선상담되었습니다.
topography(Z drive)신호는 Z scanner에 들어가는 전압을 거리로 calibration한 값으로 보통 장비 납품 시 100nm height 시료로 calibration합니다. Z scanner 구동 물질이 piezo인데 인가된 전압에 non-linear하면서 hysteresis하게 구동되는 속성을 가집니다 따라서, calibration한 지점에서 가장 값이 잘 맞습니다.
930nm라면 calibration 지점과 떨어져 값에 오차가 있을 수 있습니다.
Z detector 신호(=Height)는 sensor에서 읽혀지는 신호로 값이 정확하나 XE장비에서는 100nm 이하일 경우 사용하기에 다소 noise합니다. 하지만 높이가 클 경우 noise는 무시할 수 있어 사용을 권장드립니다.
측정하신 시료의 높이가 꽤 크기때문에 Z detector 신호를 모니터링하시기를 권장드립니다. Z detector도 topography와 같이 calibration하신 후 사용하셔야 합니다.

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