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자주하는질문
 

등록인 : yjk556 조회수: 1492 2019-04-01 14:11:48
   제 목 : XE - 100 모델 측정 문의


안녕하세요.

AFM 으로 투명한 박막 roughness를 측정중에 잘 안되는 사항이 있어 문의드립니다.

첨부파일에 보시는 이미지와 같이 tophography는 잘 맞아서 이미지가 나오는데 Error signal 과 emplitude가

noise가 너무 많이 일어나서 측정이 완료되도 tophography 이미지가 선명하게 나오지 않습니다.

해결할 수 있는 방법이 있을까요?


rcs [2019-12-11 15:20:15]
안녕하세요, 파크시스템스 고객지원팀입니다.

먼저 답변이 지연된 점 진심으로 사과의 말씀을 드립니다.

Topogrpahy signal을 보았을 때 좌측부의 Forward/Backward signal이 다소 맞지 않아 보입니다.
Cantilever의 상태가 좋지 않은 경우에도 해상도에 큰 영향을 끼칠 수 있으니 먼저 Cantilever 교체 후 재확인을 권장드립니다.

설정하신 파라미터 중 Z Servo Gain 값이 flat한 sample에 비해서 조금 크다고 보이나 크게 문제될 상황으로는 보이지 않는데요.
혹시 장비가 설치된 환경은 어떠하신가요?
소음 및 진동이 있는 환경이라면 flat한 sample을 측정하는데 다소 어려움이 있을 수 있습니다.

추가 문의 사항이 있으시다면 cs@parksystems.com으로 연락 부탁드립니다.

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