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자주하는질문
 

등록인 : hkh9302 조회수: 259 2019-08-23 09:47:10
   제 목 : RMS 교정하는 것에 대해 문의 드립니다.


안녕하세요 현재 XEI 프로그램을 쓰고 있는 학생입니다.

프로그램으로 RMS를 구하는데 있어서 궁금한 점이 있어서 문의드립니다.

예전에 듣기로는 현재 첨부한 사진에서 보듯이 AFM 측정 도중 단차가 측정을 진행할수록 차이가 나는 문제가 생기는대요


따라서 이렇게 측정된 데이터로는 Region에서 RMS 값을 구하여 신뢰하기 어려울거 같은데, 혹시 보정하는 방법이 있는지 질문드립니다.


rcs [2019-09-24 13:59:31]
안녕하세요, 파크시스템스 고객지원팀입니다.
답변이 지연되어 정말 죄송합니다.

해당 증상은 Sample의 slop에 의해 발생하는 현상으로 측정 후 XEI로 flattening 작업을 통해 slop 보정하셔야 합니다.
아래 링크의 가이드를 참고하셔서 flattening 후 결과값을 확인하시기 바랍니다.
- XEI Flatten 설명(k): https://drive.google.com/file/d/0B4UA7KbcPkvsdHdrcWdlTGhhMjA/view?usp=sharing
- Flatten 예시: https://drive.google.com/file/d/0B4UA7KbcPkvsdndqNWgtTHVjbms/view?usp=sharing

감사합니다.

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