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자주하는질문
 

등록인 : jg4746.lee 조회수: 267 2019-09-30 20:10:33
   제 목 : F-D Curve 측정 시 습도에 얼만큼 민감한가요?

안녕하세요. 삼성전자 이준규입니다.

NX-20 모델을 이용해 300mm Wafer의 Roughness 및 F-D Curve를 측정 중 입니다.

논문을 보니, F-D Curve의 Pull-off Force(당기는 힘으로 Adhesion Force라고 예상)가 습도에 민감하다고 합니다.

특히 Small Contact (R ~ 20nm) 조건의
Hydrophilic Silicon F-D 측정에서는 매우 민감하다는 논문결과을 찾을 수 있습니다.

실제로 Silicon Wafer를 계측시 Adhesion Force가 얼만큼 습도에 민감한지 알 수 있을까요?

아니면, NX-20 모델에 혹시 습도계가 설치가 되어 있나요?

답변 부탁드리겠습니다.
답변이 아니면 연락주세요 ^^;;;

이메일 주소 : jg4746.lee@samsung.com
감사합니다.


rcs [2019-12-11 17:17:16]
안녕하세요, 파크시스템스 고객지원팀입니다.

먼저 연락이 지연된 점 진심으로 사과의 말씀을 드립니다.

적어주신 내용을 보니 정확한 실험을 위해 습도가 미치는 영향을 우려하시는 것으로 보입니다.
사실 내부적으로 습도에 따른 Adhesion force를 test한 이력이 없어 습도에 따른 민감도를 확인하기가 어렵습니다.
습도의 영향을 배제시키기 위한 방안으로 Liquid 내에서 FD 측정을 하시는 것을 고려해보시는 것은 어떠하실까요?
Liquid 내 FD 측정이 어려우시다면 일정한 습도를 유지하기 위해 GloveBox with Humidity Control System을 이용하여 습도 조절을 하시거나 Acoustic Enclosure 내에 습도계를 두어 습도를 확인하시면서 실험을 하시는 것을 권장드립니다.
참고로 NX20에는 별도의 습도계가 설치되어 있지 않습니다.

추가 문의사항이 있으시다면 cs@parksystems.com으로 문의 바랍니다.

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