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자주하는질문
 

등록인 : nightmarelgh 조회수: 2509 2017-09-07 16:05:12
   제 목 : XE-200 nanoindenter 사용 관련 문의 드립니다.

안녕하십니까?
XE-200 사용중에 있습니다. 현재까지 non-contact mode만 사용하여 왔습니다.

측정 sample의 다양화 되어 wafer 표면의 hardness 측정을 하려고 하는데
보유장비로 가능할런지?
가능하다면 cantliver는 어떤것으로 사용해야 하는지와 사용방법 교육동영상을 따로 보유하고 계신지에 관하여 문의 드립니다.


rcs [2017-10-19 16:35:21]
Indentation 모드는 소프트웨어에서 기본 활성화 되어 있습니다.
측정/분석 방법에 대해서는 XEP/XEI 매뉴얼 참고 바랍니다.
현재 옵션에 대해서는 교육 동영상은 제작되어 있지 않습니다. 매뉴얼을 확인해보시고, 어려운 점은 본 사 CS팀 contact 부탁드립니다. 유선 상담으로 측정이 어려울 경우 교육(출장/사내방문/정기교육) 신청도 가능합니다.
Indentation 캔틸레버는 하나로 정해져 있지 않습니다. 시료를 indentation할 수 있는 캔틸레버 tip을 선택하셔야 하며, 이때 캔틸레버의 K 값에 의해 인가될 수 있는 힘이 제한되므로, 이를 반드시 고려하셔야 합니다. 또한  tip은 주로 diamond, diamond coating, Silicon 과 같이 단단한 material을 선택하셔야 합니다.

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