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자주하는질문
 

등록인 : woo231 조회수: 2961 2018-02-08 11:24:01
   제 목 : NX-10 측정시 노이즈발생문제

안녕하세요
부산대학교 김효정교수님 연구실입니다,
NX-10으로 P3HT 유기박막 샘플을 측정하는데 예전에는 나오지 않았던 가로줄의 노이즈가 발생하고 있습니다.
자주하는질문에 나와있는대로 레이저를 조정하여도 크게 달라지지 않고 있습니다.
xy serve를 off하면 forward와 backward가 일치하지 않아 사용하지 못하였구요
혹시 다른 의견이나 해결방법이 있을까요?


rcs [2019-02-19 13:26:45]
시료를 standard로 변경 후 패턴옆의 Si substrate에서 zero scan 조건(Z servo gain 0.5, scan rate: 2, setpoint: dafault, cantilever: NCHR)으로 contact mode에서 측정 후 결과를 비교할 필요합니다. 이와 같은 zero scan 조건에서도 동일 노이즈가 발생 시 시료, tip에 발생된 것보다 환경의 영향이 의심되면, 설치 환경 확인이 필요할 수 있습니다. 감사합니다.

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