Park Systems - À¯Àú Ä¿¹Â´ÏƼ
         
Ä¿¹Â´Ï ÀÚ·á AS¼¾ÅÍ À̹ÌÁö°¶·¯ °øÁö»çÇ× È¸»çÀ§Ä¡Á¤
ID :  PW: 
À¯Àú°Ô½ÃÆÇ
ÀÚÁÖÇÏ´ÂÁú¹®
 

µî·ÏÀÎ : paullee08 Á¶È¸¼ö: 2807 2018-04-23 13:47:24
   Á¦ ¸ñ : ´ÜÂ÷ ÃøÁ¤½Ã Z detector¿Í TopologyÀÇ °ªÀÌ ´Ù¸¥ ÀÌÀ¯´Â ¹«¾ùÀÎÁö¿ä?

¾È³çÇϼ¼¿ä.
Á¦°¡ 2Â÷¿ø ¹ÝµµÃ¼ ¹°ÁúÀÇ ´ÜÂ÷¸¦ Á¤È®È÷ ¾Ë°í ½ÍÀº ¸ñÀûÀ¸·Î AFM ÃøÁ¤ÇÏ´Â ÀÛ¾÷À» Çϰí ÀÖ½À´Ï´Ù.
contact¸ðµå·Î optimized°¡ µÇ¾úÀ» ¶§ ÀÌ ¹°ÁúÀÌ topolgy¸¦ º¸¸é 930 nm À¸·Î ÃøÁ¤ÀÌ µÇ°í Z detector·Î º¸¸é  1213 nm ·Î ÃøÁ¤ÀÌ µË´Ï´Ù. (Ä¿¹Â´ÏƼ¿¡ ¸¶ÀÌÅ©·Î´ÜÀ§ÀÇ µÎ²¨¿î»ùÇÃÀº Z detector°¡ ´õ Á¤È®ÇÒ¼öÀÖ´Ù´Â ±ÛÀ» º¸°í Z detector·Î ÃøÁ¤½ÃµµÇÏ¿´½À´Ï´Ù.)

Áú¹®Àº 930 nm,  1213 nm  ÀÇ µÎ²² Â÷À̰¡ ¿Ö ³ª´ÂÁö, ¾î¶² °ÍÀ» ¹Ï¾î¾ßÇÏ´ÂÁö ±Ã±ÝÇÕ´Ï´Ù.


rcs [2018-05-02 11:53:16]
°ü·ÃÇÏ¿© ÇØ´çÀÏÀÚ À¯¼±»ó´ãµÇ¾ú½À´Ï´Ù.
topography(Z drive)½ÅÈ£´Â Z scanner¿¡ µé¾î°¡´Â Àü¾ÐÀ» °Å¸®·Î calibrationÇÑ °ªÀ¸·Î º¸Åë Àåºñ ³³Ç° ½Ã 100nm height ½Ã·á·Î calibrationÇÕ´Ï´Ù. Z scanner ±¸µ¿ ¹°ÁúÀÌ piezoÀε¥ Àΰ¡µÈ Àü¾Ð¿¡ non-linearÇϸ鼭 hysteresisÇÏ°Ô ±¸µ¿µÇ´Â ¼Ó¼ºÀ» °¡Áý´Ï´Ù µû¶ó¼­, calibrationÇÑ ÁöÁ¡¿¡¼­ °¡Àå °ªÀÌ Àß ¸Â½À´Ï´Ù.
930nm¶ó¸é calibration ÁöÁ¡°ú ¶³¾îÁ® °ª¿¡ ¿ÀÂ÷°¡ ÀÖÀ» ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
Z detector ½ÅÈ£(=Height)´Â sensor¿¡¼­ ÀÐÇôÁö´Â ½ÅÈ£·Î °ªÀÌ Á¤È®Çϳª XEÀåºñ¿¡¼­´Â 100nm ÀÌÇÏÀÏ °æ¿ì »ç¿ëÇϱ⿡ ´Ù¼Ò noiseÇÕ´Ï´Ù. ÇÏÁö¸¸ ³ôÀ̰¡ Ŭ °æ¿ì noise´Â ¹«½ÃÇÒ ¼ö ÀÖ¾î »ç¿ëÀ» ±ÇÀåµå¸³´Ï´Ù.
ÃøÁ¤ÇϽŠ½Ã·áÀÇ ³ôÀ̰¡ ²Ï Å©±â¶§¹®¿¡ Z detector ½ÅÈ£¸¦ ¸ð´ÏÅ͸µÇϽñ⸦ ±ÇÀåµå¸³´Ï´Ù. Z detectorµµ topography¿Í °°ÀÌ calibrationÇϽŠÈÄ »ç¿ëÇÏ¼Å¾ß ÇÕ´Ï´Ù.

WRITE IP : 115.xxx.207.xxx