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자주하는질문
 

등록인 : kkh 조회수: 875 2018-12-18 10:22:54
   제 목 : AFM nanoindentation mode 측정 후 분석 방법 문의



XE-7 AFM 장비 사용하고 있는 유저입니다.
TD26818 diamond tip을 사용해서 nanoindentation 분석을 진행 하였는데
XEI 프로그램을 통해서 분석 중 문의사항이 있어 글을 적게 되었습니다.

1. indentation 후 얻어지는 indentation curve를 표시하는 방법이 separation-force 와 displacement-force 두가지가 있는데, 두 표시 방법은 어떤 차이가 있나요?

2. 두 표시 방법에 따른면 loading curve 와 unloading curve 가 서로 반대로 나오는데, 어떤 표시 방법이 맞는건가요?
separation-force의 경우 loading curve로 생각되어지는 부분이 unloading curve 보다 더 짧게 표시되고,
displacement-force의 경우 위와 반대로 나타나는데, 어떤 표시 방법이 맞는건가요?

3. force cursor 와 slope cursor는 각각 어디에 위치 설정을 해야 하나요? 첨부해드리는 이미지 기준으로 설명 부탁드립니다.

4. separation-force 에서는 slope cursor 설정을 통한 slope 접선이 indentation curve에 잘 fitting 되어 나타나는 반면에, displacement-force 에서는 slope cursor 설정과 반대의 기울기로 나타날 뿐만 아니라 indentation curve 및 cursor의 위치와 전혀 상관없는 형태로 나타나는데 왜그런건가요? 소프트웨어 표시상의 오류인가요?

5. displacement-force 에서 slope 설정에 따라서 contact depth가 N/A로 표시되는데 왜그런건가요?

6. Z-scanner 와 Z-detector의 차이는 뭔가요?

7. AFM nanoindentation mode 측정 및 분석에 대한 메뉴얼이나 자료를 받을 수 있을까요?

8. XEI 상에서 표시되는 측정값 (Hardness, Young's modulus) 의 계산 방법과 산출과정에서의 각각의 값들을 표시하거나 엑셀이나 텍스트 형태로 추출 할 수 있나요?

indentation 측정한 샘플의 displacement-force 그래프 및 separation force 그래프 이미지를 첨부해드립니다.

rcs [2018-12-18 13:48:32]
1, XEI 매뉴얼 참고 바랍니다.  Modulus 분석을 위해서는 Separation-force 변환하셔야 합니다.
2, XEI 매뉴얼 참고 바랍니다. A-B sensitivity calibration, loading force가 충분치 않을 때 반대로 나올 수 있습니다. calibration, 파라미터 셋팅후 다시 진행 바랍니다. 매뉴얼 언급된 curve 형 데로 나와야 XEI에서 modulus 계산하는 분석 방법을 이용이 가능합니다.
3, XEI 매뉴얼 참고 바랍니다.
4, displacement-force curve도 변환전 유사 curve가 나타납니다. topography와 Z detector calibration 차이 혹은 사용된 캔틸레버의 A-B sensitivity cal error로 발생된 문제로 생각됩니다.  
5, 계산이 불가능하기 때문입니다. separation curve로 변환하여 계산 바랍니다.
6, Z scanner는 topography 신호-scanner에 걸어준 전압을 거리로 환산된 값, Z detector는 Z scanner 에 부착된 센서에서 나온 값입니다. 두 값을 각각 calibration 후 모니터링합니다.
7, Indentation을 통한 분석 방법은 (parksystems 홈페이지 support>SW&매뉴얼)에서 XEI 매뉴얼을 다운로드 후 Spectroscopy 장 참고 바랍니다. 방법은 NX의 경우 장비 매뉴얼 spectroscopy 부분을, XE의 경우, XEP 매뉴얼 Specroscopy 장 참고바랍니다.
8. 현재는 curve 구성 값만 추출이 가능합니다. 양해 부탁드립니다.

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