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자주하는질문
 

등록인 : parkym00 조회수: 816 2019-07-24 17:51:35
   제 목 : EFM / SKPM 장단점 비교

원리는 비슷하다는 것을 이해했으나 실제 효용성이 잘 이해가 되지 않습니다.

EFM과 SKPM을 비교했을 때

각 장/단점이 무엇인가요?


rcs [2019-12-11 15:29:40]
안녕하세요, 파크시스템스 고객지원팀입니다.

먼저 연락이 지연된 점 진심으로 사과의 말씀을 드립니다.

알고 계시다시피 EFM은 non-contact mode를 기반으로 샘플 표면의 potential과 work-function을 측정하는 mode입니다.  
EFM과 SKPM의 장/단점이 아닌 특징으로 말씀을 드리자면, EFM은 샘플 표면의 상대적인 potential 분석을 SKPM은 절대적인 분석을 통해 work function을 측정 할 수 있는 것이 각 mode의 특징입니다.

추가 문의 사항이 있으시다면 cs@parksystems.com으로 문의 바랍니다.

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