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| 등록인 :
jg4746.lee
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조회수: 1040 |
2019-09-30 20:10:33 |
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| 제 목 : F-D Curve 측정 시 습도에 얼만큼 민감한가요? |
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안녕하세요. 삼성전자 이준규입니다.
NX-20 모델을 이용해 300mm Wafer의 Roughness 및 F-D Curve를 측정 중 입니다.
논문을 보니, F-D Curve의 Pull-off Force(당기는 힘으로 Adhesion Force라고 예상)가 습도에 민감하다고 합니다.
특히 Small Contact (R ~ 20nm) 조건의
Hydrophilic Silicon F-D 측정에서는 매우 민감하다는 논문결과을 찾을 수 있습니다.
실제로 Silicon Wafer를 계측시 Adhesion Force가 얼만큼 습도에 민감한지 알 수 있을까요?
아니면, NX-20 모델에 혹시 습도계가 설치가 되어 있나요?
답변 부탁드리겠습니다.
답변이 아니면 연락주세요 ^^;;;
이메일 주소 : jg4746.lee@samsung.com
감사합니다.
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