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자주하는질문
 

등록인 : ashleyahram 조회수: 15416 2014-05-09 00:07:50
   제 목 : z stage의 하드웨어와 소프트웨어 위치 변경



안녕하세요. XE-100을 사용하고 있는 학생입니다.

Z stage의 소프트웨어의 수치에 따른 실제 위치를 바꿀 수 있는지 궁금하여 문의드립니다.

문제가 발생한 상황을 자세히 설명드리자면,

NC mode로 approach한 상태에서
scan control에 있는 slow scan reverse 박스에 체크를 하였습니다.
그런데 internal error가 발생했다는 error 메세지가 뜨면서
첨부화일#1의 그림1처럼 slow scan reverse 박스가 비활성화가 되었습니다.
그 후에 XEP가 정지되었다는 말과 함께 비정상 종료되었습니다.
단순한 프로그램 오류이겠거니 생각하고
다시 XEP를 실행하였는데

XEP has recovered from forced termination or crash.
If you want to reset certain part, select belows parts
ㅁZ stage   ㅁFocus stage
                                    Reset         Close

박스가 나타나더군요. 그래서 Z stage만 들어올릴 요량으로
Z stage에만 체크하고 reset버튼을 눌렀습니다.
그런데 z stage가 최대로 들어올려졌을때
실제 z stage의 위치가 12000㎛정도 위로 올라가버렸습니다.
그래서 동일한 sample을 approach하였을 때
원래 18000㎛정도에서 approach가 되던 것이
현재는 첨부화일#2의 그림2처럼 약6000㎛로 변화하였습니다.

그래서 XEP재설치, controller on/off, zstage callibration, zstage reset 등
제가 할 수 있는 것들을 시도해보았으나 원상태로 바꿀 수는 없었습니다.
XEP를 다시 설치하더라도 이전 값을 기억하고 있는 듯한데
z stage 소프트웨어의 수치는 가만히 두고 하드웨어만 아래로 조정할 수 있는 방법이 없을까요?

그럼 답변 기다리겠습니다. 감사합니다.


rcs [2014-05-13 09:48:03]
XEP상의 z stage의 위치(좌표)는 motor에 의해서 구동된 값을 보여주는데 motor의 기계적 특성상 구동된 값과 실제 이동거리 사이에 오차가 발생할 수 있고 장시간 사용했을때 오차가 크게 누적될 수 있습니다.
말씀하신 좌표의 차이는 이로 인해 발생한것으로 보입니다.
그래서 장비 사용 중간에(가급적 매일 장비 사용전에) 한번씩 z stage을 reset 해 주시면 누적된 오차가 작아 원하시는 위치와 좌표를 사용할 수 있습니다.
감사합니다. 추가적인 문의사항은 이메일(cs@parkafm.co.kr)로 해주셔도 됩니다.

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