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자주하는질문
 

등록인 : kjry 조회수: 3681 2014-06-01 17:05:41
   제 목 : [[긴급]] XE-100 5um Scanner 이상 문의

XE-100 5um Scanner에 대해서 얼마전에 calibration을 해주시고 가셨는데
test를 해보려고 xy 3um STD를 가지고 TEST를 해보니
차이도 많이 나고 재현성도 나오지 않았습니다.

Non Contact Mode로 했는데..
Trace retrace 차이가 반 이상 나는 현상도 있고 무엇이 문제인가요?? 빨리 해결을 해야하는 상황이라서
0.2 ~ 0.4Hz Gain 2로 해서 5um * 5um를 scan 했습니다.


계속 반복하니 나중에서 A-B값이 허공에서는 0.1 이하 였는데 approach 후에 1.0이상으로 증가하였습니다.
그 이후 Cantil 교체 및 장비 On/Off...등 해봐도 정상으로 돌아가지 않았습니다.

왜 이런 현상이...ㅠㅠ 급한 상황입니다.

해결방안 요청드립니다.


rcs [2014-06-09 11:17:03]
유선상으로 답변 되었습니다. 감사합니다.

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